表面處理:根據應用需求,選擇合適的表面處理工藝,如選擇性電鍍金 + 沉銀組合。先全板沉銀,再通過干膜掩膜保護,對關鍵區域進行選擇性電鍍金。
后處理:包括清洗、烘干、防氧化處理等,如在沉銀層表面涂覆一層有機防氧化劑,以延長其儲存壽命。
種子層沉積:構建導電基底
采用物相沉積(PVD)或化學鍍,在絕緣基材表面沉積超薄導電層(銅或鎳)。
種子層厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆蓋均勻、無針孔,為后續圖形電鍍提供穩定導電通道。
沉積后需做簡易附著力檢測,避免種子層脫落影響后續工藝。
圖形轉移:定義線路與鍍層區域
涂布高精度光刻膠 / 干膜,通過曝光、顯影工藝,將線路圖形轉移到基材表面。
高頻高速板對圖形精度要求,需控制線寬 / 線距偏差≤±1μm,避免開窗偏移導致鍍層錯位。
顯影后進行檢查修正,去除殘留膠渣,確保線路區域完全裸露、非線路區域被保護。
去膠與蝕刻:剝離多余金屬
用化學脫膠劑或等離子體去除表面光刻膠 / 干膜,露出下方未被電鍍覆蓋的種子層。
采用微蝕工藝,蝕刻掉多余種子層,僅保留電鍍形成的功能線路,控制側蝕量≤0.5μm。
蝕刻后徹底水洗,避免殘留藥劑腐蝕鍍層或基材。
