222 nm 窄帶濾光片（BP222）是遠紫外 KrCl 準分子燈系統的“閘門”——只放行 222 nm ± 2 nm 的遠紫外光，把 230-400 nm 對皮膚和眼睛有害的雜波全部壓到 OD4-OD6 以下，從而在人機共存場景下實現、、實時消殺。

一、工作原理

KrCl 準分子燈在介質阻擋放電時，主峰 222 nm 外還會伴生 230-265 nm 及更長波段的雜散光。濾光片采用高真空離子束濺射（IBS）在熔融石英或 CaF? 基底上沉積 40-60 層 HfO?/SiO? 納米硬膜，通過多腔干涉實現：

? 中心波長 CWL = 222 nm ± 2 nm

? 半高寬 FWHM = 8-12 nm（可根據燈源實際半寬 1.7 nm 進一步收窄）

? 峰值透過 Tp > 78 %（實測可達 85 %）

? 截止范圍 230-400 nm，平均透過 < 1 %（OD4-OD6）

二、關鍵性能

? 面形：λ/10 @ 632.8 nm，保證燈-濾光片模組近場出光均勻性

? 損傷閾值：> 2 J/cm2 @ 222 nm，脈沖 10 ns，可承受準分子燈瞬時高功率

? 壽命：經 2000 h 連續 222 nm 照射后，中心波長漂移 ≤ 1 nm，透過率衰減 ≤ 3 %

? 環境：-40 °C ~ +85 °C 循環 100 h 無脫膜；96 h 鹽霧測試合格