盡管制備方法看似成熟,但實際操作中仍有不少難題需要攻克:
成分配比的性:氧化錫的摻雜量通常控制在5-10%之間,過高會導致透明度下降,過低則影響導電性。如何在微觀尺度上實現均勻混合,是一個技術挑戰。
靶材密度:低密度靶材在濺射時容易產生顆粒飛濺,導致薄膜出現缺陷。提高密度需要優化壓制和燒結條件,但這往往伴隨著成本的上升。
微觀結構的控制:靶材內部的晶粒大小和分布會影響濺射的穩定性。晶粒過大可能導致濺射不均,而過小則可能降低靶材的機械強度。
熱應力管理:在高溫燒結過程中,靶材可能因熱膨脹不均而產生裂紋,影響成品率。
這些難點要求制造商在設備、工藝和質量控制上投入大量精力。
區別對比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導電性和延展性的領域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導電性廣泛應用于光電顯示領域。
?性能特點:銦靶材更側重于導電性和機械強度,而ITO靶材則兼顧導電性和光學透明性。
銦回收具有重要的環保和經濟效益。通過回收廢舊靶材中的銦,可以減少對新資源的開采,降低環境污染,實現資源的可持續利用。此外,回收銦還能穩定市場供應,降低生產成本,促進相關產業的可持續發展。
閉環之困:損耗與機遇并存
ITO靶材在濺射鍍膜過程中利用率通常僅30%左右,大量含銦廢料(廢舊靶材、邊角料、鍍膜腔室廢料)隨之產生。過去,這些價值的廢料往往被簡單處理或堆積。建立從“廢靶材→再生銦→新靶材”的閉環體系,成為破解資源約束的黃金路徑。

