從物理性質上看,ITO靶材具有以下幾個顯著特點:
高透明度:在可見光范圍內(波長400-700納米),ITO薄膜的透光率可高達90%以上,幾乎與普通玻璃相當。
優異導電性:其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級,遠低于大多數透明材料。
化學穩定性:在常溫下,ITO對水、氧氣等環境因素表現出良好的抗腐蝕能力。
機械耐久性:ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性,能夠應對日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實際應用中游刃有余,尤其是在需要兼顧光學和電學性能的場景中。
目前,ITO靶材的制備主要有兩種常見方法:熱壓燒結法和冷等靜壓法。
熱壓燒結法
工藝流程:將氧化銦和氧化錫粉末按比例混合后,放入模具,在高溫(1000-1500°C)和高壓(幾十到幾百兆帕)下壓制成型。高溫使粉末顆粒熔融結合,形成致密的靶材結構。
優點:這種方法制備的靶材密度接近理論值(通常超過99%),晶粒分布均勻,適合高精度鍍膜需求。
缺點:設備復雜,能耗高,生產成本較高。
適用場景:高端電子產品,如智能手機、平板電腦的顯示屏制造。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)靶材是一種廣泛用于透明導電薄膜材料制備的復合氧化物材料,其主要成分為氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)。通常,ITO靶材中氧化銦與氧化錫的質量比例為90:10,這一比例在實際應用中表現出較為理想的光電特性,使其在透明導電薄膜中廣泛應用。
在智能手機、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關鍵成分,銦(In)的穩定供應直接關系到全球萬億級顯示產業的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國儲量占全球70%以上)和原生礦產的有限性,使得銦的回收再利用不再是環保課題,更成為保障產業、實現供應鏈韌性的“閉環”革命。

