所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。

半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長凈室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>

多層工業(yè)建筑的廠房絕大多數(shù)見于輕工、電子、儀表、通信、醫(yī)藥等行業(yè)，此類廠房樓層一般不是很高，其照明設(shè)計(jì)與常見的科研實(shí)驗(yàn)樓等相似，多采用熒光燈照明方案。機(jī)械加工、冶金、紡織等行業(yè)的生產(chǎn)廠房一般為單層工業(yè)建筑，并且根據(jù)生產(chǎn)的需要，更多的是多跨度單層工業(yè)廠房，即緊挨著平行布置的多跨度廠房，各跨度視需要可相同或不同。

在一個(gè)建設(shè)場(chǎng)地內(nèi)，確定各廠房設(shè)計(jì)方案時(shí)，宜使構(gòu)配件的類型統(tǒng)一。

在技術(shù)經(jīng)濟(jì)合理的基礎(chǔ)上，廠房的體形應(yīng)力求簡(jiǎn)單，避免設(shè)置縱橫跨和多跨廠房中的高度差。

在編制廠房建筑構(gòu)配件標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)圖集時(shí)，應(yīng)使用途相同的構(gòu)配件具有限度的互換性。

廠房建筑設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合現(xiàn)行有關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。