鋼結(jié)構(gòu)制作、安裝的工業(yè)化程度高

鋼結(jié)構(gòu)的制作主要是在專業(yè)化金屬結(jié)構(gòu)廠進(jìn)行，因而制作簡(jiǎn)便，精度高。制成的構(gòu)件運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)安裝，裝配化程度高，安裝速度快，工期短。

密封性

鋼材內(nèi)部組織很致密，當(dāng)采用焊接連接，甚至采用鉚釘或螺栓連接時(shí)，都容易做到緊密不滲漏。

耐火性

當(dāng)鋼材表面溫度在150℃以內(nèi)時(shí)，鋼材的強(qiáng)度變化很小，因此鋼結(jié)構(gòu)適用于熱車間。當(dāng)溫度超過(guò)150 ℃時(shí)，其強(qiáng)度明顯下降。當(dāng)溫度達(dá)到500—600t時(shí)，強(qiáng)度幾乎為零。所以，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，鋼結(jié)構(gòu)的耐火時(shí)間較短，會(huì)發(fā)生突然的坍塌。對(duì)有特殊要求的鋼結(jié)構(gòu)．要采取隔熱和耐火措施。

耐腐蝕性

鋼材在潮濕環(huán)境中，特別是處于有腐蝕性介質(zhì)環(huán)境中容易銹蝕，需要定期維護(hù)，增加了維護(hù)費(fèi)用。

凈室系統(tǒng)，制造匹配規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，凈室內(nèi)的制造區(qū)（FAB）。一般而言，制造潔凈空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經(jīng)過(guò)凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到匹配規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過(guò)濾微塵（particle）并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間（Mech. Chase），將凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，透過(guò)循環(huán)風(fēng)扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動(dòng)凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過(guò)濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

所需的外氣較多由于半導(dǎo)體工廠中，制程系統(tǒng)需使用大量的化學(xué)品和毒氣，這些化學(xué)品和毒氣所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體和廢氣必須予以全數(shù)排除，故排氣量相當(dāng)大，為維持凈室壓力比外面的大氣壓力大，此時(shí)所補(bǔ)充的空氣量亦隨之增加。

半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力大小半導(dǎo)體廠凈室室內(nèi)壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境條件外，并可延長(zhǎng)凈室ULPAfilter的壽命，但不能無(wú)條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運(yùn)轉(zhuǎn)成本。

氣流分布須均勻凈室空調(diào)為帶走凈室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達(dá)到一定之要求標(biāo)準(zhǔn)外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當(dāng)?shù)目刂啤?/p>