凈室的定義為：將空間范圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當潔凈的環境。亦即：這個環境中的微塵粒子相當少，稱之為凈室。凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業，例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、和醫院內的手術室等行業等，其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內，才不會對制程產生影響。作為生產設施，凈室可以占據廠房很多位置。

空調系統24小時全天運轉并監控管理半導體工廠部分制程設備，對溫濕度變化極為敏感，如黃光區Stepper光學機臺，些微的溫、濕度變化均會使設備的準度偏差，另外芯片等產品也必須置放在定溫定濕的環境下，故空調系統必須24小時監控管理之。

半導體廠凈室室內壓力大小半導體廠凈室室內壓力必須比室外高些許，除了為避免室外的溫、濕度、微粒影響凈室生產區的環境條件外，并可延長凈室ULPAfilter的壽命，但不能無條件增加，如此將使向外逸散的潔凈空氣增加而增加運轉成本。

氣流分布須均勻凈室空調為帶走凈室內所產生的微塵粒子以維持潔凈度故除了氣流速度須達到一定之要求標準外，氣流的流線形狀也必須依不同的凈室檔次加以適當的控制。

工業廠房，指直接用于生產或為生產配套的各種房屋，包括主要車間、輔助用房及附屬設施用房。凡工業、交通運輸、商業、建筑業以及科研、學校等單位中的廠房都應包括在內。工業廠房除了用于生產的車間，還包括其附屬建筑物。